⑴ 什麼是等離子體表面處理儀
等離子體表面處理儀是什麼？等離子體表面處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子體表面處理儀的工作原理：首先，我們來說一下什麼叫做等離子體。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪後的原子及原子被電離後產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在於宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間，空間物理，地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝。
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