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藍寶石襯底廢水

發布時間:2021-03-07 07:13:35

Ⅰ 什麼是LED 藍寶石襯底材料

通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點:首先,藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好;其次,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最後,藍寶石的機械強度高,易於處理和清洗。因此,大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。
使用藍寶石作為襯底也存在一些問題,例如晶格失配和熱應力失配,這會在外延層中產生大量缺陷,同時給後續的器件加工工藝造成困難。藍寶石是一種絕緣體,常溫下的電阻率大於1011Ω·cm,在這種情況下無法製作垂直結構的器件;通常只在外延層上表面製作n型和p型電極。在上表面製作兩個電極,造成了有效發光面積減少,同時增加了器件製造中的光刻和刻蝕工藝過程,結果使材料利用率降低、成本增加。由於P型GaN摻雜困難,當前普遍採用在p型GaN上制備金屬透明電極的方法,使電流擴散,以達到均勻發光的目的。但是金屬透明電極一般要吸收約30%~40%的光,同時GaN基材料的化學性能穩定、機械強度較高,不容易對其進行刻蝕,因此在刻蝕過程中需要較好的設備,這將會增加生產成本。
藍寶石的硬度非常高,在自然材料中其硬度僅次於金剛石,但是在LED器件的製作過程中卻需要對它進行減薄和切割(從400μm減到100μm左右)。添置完成減薄和切割工藝的設備又要增加一筆較大的投資。
藍寶石的導熱性能不是很好(在100℃約為25W/(m·K))。因此在使用LED器件時,會傳導出大量的熱量;特別是對面積較大的大功率器件,導熱性能是一個非常重要的考慮因素。為了克服以上困難,很多人試圖將GaN光電器件直接生長在硅襯底上,從而改善導熱和導電性能。
對於製作LED晶元來說,襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該採用哪種合適的襯底,需要根據設備和LED器件的要求進行選擇。市面上一般有三種材料可作為襯底:
·藍寶石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)

Ⅱ 什麼叫藍寶石襯底材料

藍寶石襯底材料是一種用於LED晶元襯底的材料,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最後,藍寶石的機械強度高,易於處理和清洗。因此,大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。

相關介紹:

傳統的LED晶元採用正裝結構,上面通常塗敷一層環氧樹脂,下面以藍寶石作為襯底。一方面,由於藍寶石的導熱性較差,有源層產生的熱量不能及時地釋放,而且藍寶石襯底會吸收有源區的光線,即使增加金屬反射層也無法完全解決吸收的問題。

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2001年,LumiLeds研製出了AIGalnN功率型倒裝晶元結構,LED晶元通過凸點倒裝連接到硅基上。這樣大功率LED產生的熱量不必經由晶元的藍寶石襯底,而是直接傳到熱導率更高的硅或陶瓷襯底,再傳到金屬底座,由於其有源發熱區更接近於散熱體,可降低內部熱沉熱阻。

由SemiLedS研發的以藍寶石為襯底的垂直結構GaN基LED晶元從2005年11月開始進入市場。製造垂直結構LED晶元有兩種基本方法,剝離生長襯底和不剝離生長襯底。

對於製作LED晶元來說,襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該採用哪種合適的襯底,需要根據設備和LED器件的要求進行選擇。三種襯底材料:藍寶石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)。

Ⅲ 藍寶石襯底可以生長幾次外延,然後襯底會怎樣

一般現在抄的2寸藍寶石襯底長一次外延吧,在大尺寸的襯底如4寸6寸的有多次重復利用的,具體要看其使用的是何種襯底,單面拋光還是雙面拋光,還有其襯底剝離技術。
使用完後的襯底有會被剝離掉,有的不會,要看其對產品良率亮度等的要求,現在的剝離技術還沒有很好,所以多是不剝離。
希望會有用。

Ⅳ LED中的藍寶石襯底起什麼作用

LED藍寶石襯底有許多優點:首先,藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量好;其次,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最後,藍寶石的機械強度高,易於處理和清洗。

藍寶石的硬度非常高,在自然材料中其硬度僅次於金剛石,但是在LED器件的製作過程中卻需要對它進行減薄和切割,其切割精度均以μm級計算,這對於藍寶石襯底切割的工藝要求提出了非常高的考驗。

由於藍寶石的光學穿透帶很寬,從近紫外光到中紅外線都具有很好的透光性。因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度鐳射鏡片材料及光罩材料上。

它具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高(2045°C) 等特點,它是一種相當難加工的材料,因此常被用來作為光電元件的材料。目前超高亮度白/藍光LED的品質取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質,而氮化鎵磊晶品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關。

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藍寶石基板應用種類:廣大外延片廠家使用的藍寶石基片分為三種:

1、C-P1ane藍寶石基板:這是廣大廠家普遍使用的供GaN生長的藍寶石基板面。這主要是因為藍寶石晶體沿C軸生長的工藝成熟、成本相對較低、物化性能穩定,在C面進行磊晶的技術成熟穩定。

2、R-P1ane或M- Plane藍寶石基板:主要用來生長非極性/半極性面GaN外延薄膜,以提高發光效率。通常在藍寶石基板上制備的GaN外延膜是沿c軸生長的,而c軸是GaN的極性軸。

導致GaN基器件有源層量子阱中出現很強的內建電場,發光效率會因此降低,發展非極性面GaN外延,克服這一-物理現象,使發光效率提高。

3、圖案化藍寶石基板(Pattern Sapphire Substrate 簡稱PSS):以成長(Growth)或蝕刻(Etching)的方式,在藍寶石基板上設計製作出納米級特定規則的微結構圖案藉以控制LED之輸出光形式。

並可同時減少生長在藍寶石基板上GaN之間的差排缺陷,改善磊晶質量,並提升LED內部量子效率、增加光萃取效率。

Ⅳ 藍寶石襯底進退火前沒有污染。退火後出現污染。是什麼原因造成的

你是一個s/b啊 都30歲了 還玩小孩子的游戲 難道玩玩游戲就能年輕10歲嗎? 你個賤/貨

Ⅵ 藍寶石襯底 如何去污

你說的是什麼類得來污漬?去污一般自都是靠清洗的,你的襯底片子是切磨拋之後的清洗還是PSS或者MOCVD上機前得清洗?一般來說是片子走清洗線,清洗劑的選擇跟配比很重要,超聲之類的都要有,還有就是你清洗工藝的安排。

Ⅶ LED藍寶石晶片就是指藍寶石襯底的意思嘛

一般是這樣指的,如果不是特別指是圖形化藍寶石襯底(其實就是藍寶石襯底深加工的一種)

Ⅷ 請問國外生產藍寶石襯底的有哪幾家能進行具體分析嗎

比較著名的rubicon,mono兩大家,四聯在美國的霍尼韋爾,韓國iljin,astek,stc等等等等,台灣的很多了。

Ⅸ 請問「藍寶石襯底」的用途是什麼,主要運用在哪些領域

航天和航宇宙方面的電子器件的襯底,高度可靠器件的襯底。

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