1. 定義差異：超純水和去離子水的主要區別在於它們的純凈程度。超純水幾乎不含有任何雜質，包括細菌、病毒、氯化二英等有機物質，以及不需要的礦物質微量元素。去離子水則是通過去除水中的離子型雜質來獲得一種接近純凈的水。
2. 制備方法：制備超純水通常需要使用雙反滲透系統、電去離子(EDI)技術和拋光混床工藝。這些系統通過半透膜過濾原理去除水中的溶解鹽、有機物、膠體和大分子物質，以降低水中的離子含量。去離子水的制備則是通過離子交換樹脂去除水中的離子雜質，其生產設備的合理性直接影響到去離子水的質量及運行的經濟性。
3. 應用領域：超純水和去離子水在不同的行業中有不同的應用。超純水廣泛應用於電子、電力、電鍍、照明器具、實驗室、食品、造紙、日化、建材、油漆製造、蓄電池、實驗室、生物、制葯、石油、化工、鋼鐵、玻璃、化工工藝用水、化學品、化妝品等行業。去離子水則主要用於汽車、家電、建材表面塗裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗，石油化工行業的冷卻水、化學反應介質冷卻、化學葯劑的生產及配液水，工業紡織印染、鋼材清洗等用水，模橋彎食品、飲料、酒精和化妝品生產用水，以及海水、微鹹水的凈化等。