❶ 用橢偏儀測薄膜的厚度和折射率時，對角度有何要求
會。納米級的薄膜會有納米尺寸效應，導致材料性質大變。折射率會變，我看過一篇文獻，講的大致內容是橢偏儀測金屬薄膜厚度（<50納米），雖然能測，但是測不準，因為納米級金屬材料折射率隨尺寸影響，你可以去查查。至於消光系數，本人是控制專業的，隔行如隔山，就不知道了!
❷ 用橢偏儀測薄膜的的厚度和折射率時，對薄膜有何要求
在現代科學技術中，薄膜有著廣泛的應用。因此測量薄膜的技術也有了很大的發展，橢偏法就是70年代以來隨著電子計算機的廣泛應用而發展起來的目前已有的測量薄膜的最精確的方法之一。
❸ 用反射型橢偏儀測量薄膜厚度時，對樣品的制備有什麼要求
樣品應為均勻透明各向同性的薄膜系統，
反射率較高一點，以便於增強反射光的強度，
而且薄厚均勻透明，從而利於實驗的進行和精度要求。
❹ 橢偏儀測量膜厚時為什麼不採用多點測量
是由他們的一些多點車輛，這樣是能測量的，更加准確，更加精緻
❺ 橢偏儀可以測量所有半導體薄膜厚度嗎
可以，單晶傾斜大概四十五度角測量，多晶放平測就可以。
❻ 橢偏儀和反射式膜厚測量儀在測量納米薄膜時有何差別
1.二者原理不同:
橢偏儀：通過測量光波經樣品反射後偏振態的變化來獲得樣品的信，可測量膜層厚度d、折射率n和消光系數k，或者直接測量固相材料的折射率n和消光系數k。
反射式膜厚測量儀：一般是利用白光干涉的原理，通過測量光波經樣品反射後幅值（或者說光強）的變化來獲得膜層的厚度d、折射率n和消光系數k信息。
2.二者適用范圍不同：
橢偏儀適合：厚度為0.1nm到幾微米的薄膜測量，其厚度測量精度可達到原子層量級，即0.1nm以下。
反射式膜厚測量儀適合：厚度為50納米到幾十微米的稍後些的薄膜，其厚度測量精度為1nm以上。
❼ 橢偏儀檢測的是光學厚度嗎
激光橢偏儀可測量納米薄膜的層構特性（如，膜層厚度）和物理特性（如，在激光波長下的折射率n、消光系數k，或介電函數）。激光橢偏儀最常用的場合是測量單層膜樣品，可同時測量兩個未知參數，如折射率n和膜厚th。也可測量多膜層中的兩個未知參數。 北京量拓科技有限公司
❽ 用橢偏儀測薄膜厚度和折射率是對薄膜有何要求
橢圓偏振光法測定介質薄膜的厚度和折射率
在現代科學技術中，薄膜有著廣泛的應用。因此測量薄膜的技術也有了很大的發展，橢偏法就是70年代以來隨著電子計算機的廣泛應用而發展起來的目前已有的測量薄膜的最精確的方法之一。橢偏法測量具有如下特點：
能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數量級。
是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學分析法簡便。
可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數。因此可以作為分析工具使用。
對一些表面結構、表面過程和表面反應相當敏感。是研究表面物理的一種方法
橢偏儀的光路圖
橢偏儀的基本原理
入射光的P分量
入射光的S分量
反射光的P分量和S分量的比值—橢圓參量
r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1, n2, n3,f1，d，l）