❶ 用化學氣相沉積法做摻雜薄膜該怎麼做
貌似很專業的問題的啊,我剛剛下手做摻雜熒光量子點,介紹點東西給你,去jacs看看那裡面的文獻,希望對你有幫助。。。
❷ 解釋一下化學氣相沉積法制備納米材料
化學氣相沉積可以分為有基底沉積和無基底沉積。
有基底沉積又分為催化沉積和無催化沉積;
催化沉積往往用於區域選擇性沉積或特定形貌納米材料的沉積;
無催化沉積常用於製作各種膜材料;
無基底沉積往往利用氣相分解,可以得到各種納米粉體,使用相對較少。
❸ 化學氣相沉積法由CH4制金剛石薄膜的反應原理
呵呵,這是機理性的東西,CVD法是在高溫條件下分解含有C元素的原料氣體,生成碳原子,甲基原子團等活性粒子,並在合適的工藝條件下,在基底材料上沉積出金剛石膜的方法。對於CVD金剛石膜的沉積機理,存在諸多模型,比較一致的描述為(CH4/H2系統)
H2=2H·
CH4=CH3·+H·
CH4+H·=CH3·+H2
由於CH3·具有金剛石結構,而其懸掛鍵又被大量的氫原子所飽和,因此金剛石膜表面就保持了穩定的sp3雜化結構,即金剛石的四面體結構。若其上沉積新的碳原子,就可能與其鍵合形成sp3雜化鍵,從而形成金剛石晶體,如此循環反復即可得到金剛石膜。
給你看個圖吧,是CVD金剛石膜生長過稱中sp3結構碳生成的具體過程:
❹ 請問,用化學氣相沉積方法制備石墨烯時,所用到的反應室是怎麼加熱和控溫的
文使用低壓化學氣相沉積方法,研究在銅箔表面制備高質量石墨烯薄膜,使用拉曼...並且實驗發現,當甲烷濃度低、氫氣濃度高與甲烷濃度高、氫氣濃度低兩種極端情況均
❺ 為什麼說化學氣相沉積法鍍膜是目前最有發展前途的生產方法呢
從哪聽來的很有發展前途?物理氣相沉積沒前途?
❻ 化學氣相沉積法需要哪些實驗儀器和葯品
1,首先你需要一台化學氣相沉積機台,常見的有牛津的PECVD幾台。
2,葯品的話主要是一切特殊氣體,如硅烷,氮氣,氨氣,氧氣,笑氣,氟化碳氣體等。
3,試驗步驟建議使用田口的DOE實驗法,這樣你可以省去一些不必要的試驗。
❼ 化學氣相沉積法可以制備什麼金屬
這個問題也困擾我好久了!謝謝了!「熱蒸發法是物理氣相沉積,前體就是zno。cvd的前體一般是鋅粉,在氣流中有氧氣反應生成zno,有時可能還用點催化劑,所以叫做化學氣相沉積。我理解有這點差別
」
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求採納
❽ 物理氣相沉積法制膜包括哪些基本過程
:(1)沉積原子在表面活性劑原子層上快速擴散;...首先提供一化學氣相沉積系統,其包括管狀爐管、連接至...化學汽相淀積法制膜技術及制膜設備話135制備網狀...如買賣方在交易過程中產生糾紛,溝通無果並發起維權...積法制膜設計資料沉積陽極膜沉積膜光纖...具體包括電沉積前驅液的制備、襯底清洗處理以及薄膜生長三大步,最後薄膜生長採用電...超薄自支撐聚醯亞胺濾光薄膜的物理氣相...本發明公開了一種脈沖電沉積制備均勻...在惰性或還原性保護氣體中進行沉積,...噴塗沉積大面積均勻透明導電薄膜裝置085...等離子輔助反應熱化學氣相沉積法制備晶...對物理氣相沉積(PVD)方法制備的CrMo合金膜和TiAlN陶瓷膜的結合強度、韌性、內聚...溶膠-凝膠法制備高折射GPTMS/TiO_2-ZrO_2材料[J];電子與封裝;2011年08期2...物理氣相沉積技術是一種對材料表面進行改性處理的高新...應用對象不斷擴展美國BalzersToolCoating公司1994年評估了用PVD法製取的薄膜在2000...真空鍍鋁膜生長過程的分形幾討論了等離子體引入化學氣相沉積過程中所帶來的一些變化,給出了現階段PCVD成膜...以往用於表面強化的氣相沉積技術主要有化學氣相沉積(...PCVD法制備硅系納米復合薄膜材物理氣相沉積技術的應用對象不斷擴展,...Coating公司1994年評估了用PVD法製取的薄膜在2000年前的市場發展前景〔1〕,認為,...Ti和Al的加工模具上的CrN沉積法〔3〕...[技術摘要]提供在抽真空或開始濺射時及在濺射過程中...本發明也包括物理氣相沉積靶,它基本上由鋁並且和小於...436-BG19304射頻磁控濺射法制備ZnO∶Zr透明導電薄膜...【等離子體增強化學氣相沉積法制圖優化TiO2薄膜及其光學性能研究】查看全文文章...4矩量法及其與物理光學混合演算法的研...5幾種離子/分子光學感測的設計...
相關答案地方官的❾ CVD化學氣相沉積法反應步驟可區分為哪五個步驟
化學氣相法又稱化學氣相沉積法,其反應步驟為:
1、用流化床進行連續處理。所以流化床-CVD 法可以生產多種碳納米管。碳納米管不僅可以生長在微米級的聚團狀多孔催化劑顆粒上,也可生長在毫米級的陶瓷球的表面上,還可以生長在層狀無機氧化物的層間,以大量得到聚團狀的碳納米管或毫米級長度的碳納米管陣列。
2、在不同級上的催化劑採用不同溫度操作,從而可以調變催化劑的高溫活性以便提高碳納米管的收率。
3、下行床與湍動床耦合的反應器技術可以調變催化劑還原與碳沉積的平衡,還能充分利用催化劑的活性,從而大批量制備高質量的單雙壁碳納米管。
CVD是Chemical Vapor Deposition的簡稱,是指高溫下的氣相反應,例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術最初是作為塗層的手段而開發的,但目前,不只應用於耐熱物質的塗層,而且應用於高純度金屬的精製、粉末合成、半導體薄膜等,是一個頗具特徵的技術領域。 其技術特徵在於:(1)高熔點物質能夠在低溫下合成;(2)析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行塗層,而且可以在粉體表面塗層,等。特別是在低溫下可以合成高熔點物質,在節能方面做出了貢獻,作為一種新技術是大有前途的。 例如,在1000℃左右可以合成a-Al2O3、SiC,而且正向更低溫度發展。 CVD工藝大體分為二種:一種是使金屬鹵化物與含碳、氮、硼等的化合物進行氣相反應;另一種是使加熱基體表面的原料氣體發生熱分解。 CVD的裝置由氣化部分、載氣精練部分、反應部分和排除氣體處理部分所構成。目前,正在開發批量生產的新裝置。
❿ 什麼是化學氣相沉積法它對對原料,產物和反應類型的要求有哪些
化學氣相沉積法有哪些反應類型,該法對反應體系有什麼要
化學氣相沉積法是指兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然後他們相互之間發生化學反應,形成一種新的材料,沉積到晶片表面上.淀積氮化硅膜(si3n4)就是一個很好的例子,它是由硅烷和氮反應形成的.