Ⅰ 怎样保持电子晶圆超纯水系统能够正常运行呢
1、超纯水系统的机械过滤器定期反洗.反洗时进行压缩空气气体摩擦,反洗合格后静置10min左右再正洗,正洗出水合格后方可投入使用,勿将空气带入反渗透.在不影响sdi值的情况下,尽可能延长机械过滤器的运行时间,这样既减少了切换过滤器对出水水质的冲击,又节约了大量反洗用水。
2、定期检查、及时更换精密过滤器滤芯,防止滤芯因安装或质量问题发生泄露所引起的反渗透膜的颗粒污染.当精密过滤器进口压差大于0.15mpa时,应更换滤芯.一般应每月检查一次,2～3个月更换一次滤芯.运行时还应经常检查精密过滤器内是否有气体,不能让空气带入反渗透膜.对备用或长期停运的精密过滤器,要采取加甲醛保护的方法防止细菌大量繁殖。
3.、压泵入口压力应至少大于0.05mpa,防止空气或精密过滤器前截留物被高压泵抽入反渗透膜。
4、停用的超纯水系统应定期低压冲洗,尤其夏天,应做到每班冲洗一次.如停运时间大于7天,应采用0.5%～1%的亚硫酸氢钠或0.5%～1%的甲醛溶液对反渗透膜进行保护.并应及时检测保护液的ph值和浓度。
5、定期对给水水质进行化验分析,根据实际情况及时调整絮凝剂、杀菌剂、还原剂及阻垢剂的加药量.防止絮凝剂穿透过滤器与阻垢剂反应影响阻垢效果,或污染反渗透膜;防止杀菌剂用量不足而使反渗透膜受细菌污染,或因杀菌剂过量而使膜被氧化;防止阻垢剂含量不足使浓水结垢而导致膜化学污染。
6、当与初始投用状态相比,标准化的反渗透装置产水量下降10%,或在特定条件下产水含盐量明显上升,或压差增加了15%时,应对反渗透膜进行及时清洗。