碳化硅陶瓷膜作超滤膜

『壹』 中科院完成目前世界上最大口径碳化硅单体反射镜研制，这一成果到底有哪些意义

前不久，由长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度碳化硅非球面反射镜集成制造系统”通过项目验收。这是公开报道的世界上最大口径碳化硅单体反射镜。该成果的取得，也标志着我国光学系统制造能力跻身国际先进水平，为我国大口径光电装备跨越升级奠定了坚实基础。这个直径4米、重达1.6吨的“大镜子”犹如一个巨大的环形圆盘——如果把它装到望远镜里，将极大提升其分辨率。“现代大口径光学系统均采用反射式结构，其中主镜口径直接决定了系统的分辨能力，口径越大，光学望远镜的分辨率和精度就越高。”4米碳化硅反射镜项目验收专家、中国工程院院士姜会林说。

大口径反射镜镜坯制造和反射镜加工技术一直被少数西方国家掌握，我国始终不具备自主制造4米量级大口径反射镜的能力。”张学军坦言。为打破垄断，20世纪90年代末，长春光机所就已布局光学级碳化硅陶瓷材料研究。团队耗时10余年、经历数百次实验探索与工艺验证，先后突破1米、2米口径碳化硅反射镜镜坯，终于在2016年成功研制出4米口径碳化硅镜坯。镜坯有了，但碳化硅极高的硬度也给加工方法带来新挑战。此外，碳化硅在光学粗抛光后表面有细微缺陷，这会影响反射率等光学性能，因此需要通过后续工艺改进表面特性。项目组运用计算机控制光学表面成形技术，通过采用“应力盘”抛光、磁流变抛光等组合加工技术，大幅度提高了非球面的制造精度和效率；同时采用摆臂轮廓仪检测、光学零位补偿干涉测量等先进检测技术，实现对4米反射镜的原位检测。最终，经过精抛光的反射镜镀膜后反射率达到95%以上，具备工程化应用条件，实现了4米大口径非球面反射镜的高精度光学加工。仅仅掌握4米反射镜制造工艺，并不算自主掌握核心技术。”张学军说，与加工工艺同等重要的，还有完成4米反射镜制造所需全套制造装备的研发。围绕反射镜研制流程，项目完成了3个子系统、10余套加工检测设备研制，全部来自自主知识产权。目前，由长春光机所研发的2米量级口径反射镜已在实际工程中应用；2022年，在中国空间站的多功能光学设施上，将使用我国自主研制的大口径反射镜；在不远的将来，4米量级反射镜也将应用在我国新一代光电观测系统中。

『贰』 碳化硅镀膜

TOKUGAWA表面处理（Ni-P-SIC）镀膜的性能
高耐磨性 高硬度
不做热处理就有HV650，
经过300度的热处理可以达到HV1200.
有很高的尺寸精度与均一性

『叁』 SiC陶瓷表面可以磁控溅射镀镍膜吗,附着力如何，能达到室温120MPa的剪切强度吗

金属膜是采用磁控溅射技术的。
磁控溅射膜
主要利用辉光放电（glow
discharge）将氩气（Ar）离子撞击靶材（target）表面，
靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。
溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好，但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。
新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化，
造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，
提高溅镀速率。
一般金属镀膜大都采用直流溅镀，而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀，基本的原理是在真空中利用辉光放电（glow
discharge）将氩气（Ar）离子撞击靶材（target）表面，电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面，这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。
一般来说，利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点：（1）金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。
（2）再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。
（3）利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体，可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。
（4）靶材输入电流及溅射时间可以控制，容易得到高精度的膜厚。
（5）较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。
（6）溅射粒子几不受重力影响，靶材与基板位置可自由安排。
（7）基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上，且由于溅射粒子带有高能量，在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。
（8）薄膜形成初期成核密度高，可生产10nm以下的极薄连续膜。
（9）靶材的寿命长，可长时间自动化连续生产。
（10）靶材可制作成各种形状，配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。

『肆』 国内生产陶瓷膜的企业有哪些

久吾高科是自主研发生产的陶瓷膜的

『伍』 碳化硅薄膜的作用

半导体材料的发展史中，一般将Si、Ge称为第一代电子材料，GaAs，Inp，InAs及其合金等称为第二代电子材料，而将宽带高温半导体SiC，GaN，AiN，金刚石等称为第三代半导体材料。随着科学技术的发展，对能在极端条件下工作的电子器件的需求越来越迫切，常规半导体如Si、GaAs已面临严峻挑战，发展带宽隙半导体。

『陆』 超滤膜有哪几种材料啊哪种材料最好

1、PAN(聚丙烯腈)超滤膜：
PAN(聚丙烯腈)超滤膜，亲水性材料，透水性能好，具有良好的耐光和耐气侯性，截留分子量稳定，耐酸碱程度适中(PH2-10)，尤其适用于水中有机物含量低，水质较好的场合，截留分子量10万。
2、PVC(聚氯乙烯)超滤膜：
PVC材料即聚氯乙烯，它是世界上产量较大的塑料产品之一，价格便宜，应用广泛，聚氯乙烯树脂为白色或浅黄色粉末。根据不同的用途可以加入不同的添加剂，聚氯乙烯塑料可呈现不同的物理性能和力学性能。在聚氯乙烯树脂中加入适量的增塑剂，可制成多种硬质、软质和透明制品。
PVC材料由于其化学稳定性高， 耐强酸、耐强碱、使用寿命长的独特性能，因此在超滤膜的生产中，PVC也被作为制造超滤膜丝的优质原材料，PVC在生产时会加入稳定剂，稳定剂有无毒和有毒之分，也正是影响成品超滤膜丝安全与否的关键所在，只有加入了铅盐之类有毒的稳定剂，才会对其产生隐患,但PVC在生产制造超滤膜时，其有毒稳定剂的使用量几乎为零，方可确保PVC(聚氯乙烯)超滤膜的安全性。现净水市场，PVC(聚氯乙烯)超滤膜得到了很好的应用就足可以说明这一点。
3、PES(聚醚砜)超滤膜：
PES具有较强的热稳定性和抗氧化性，适用于超滤膜的制备。PES(聚醚砜)超滤膜具有良好的化学稳定性和热稳定性等特点，可有效去除蛋白质等物质，并且使用寿命长。适用于污废水处理、市政给水净化处理、乳清蛋白和乳清分离蛋白的分离和浓缩以及食品、医药加工等领域。
4、PP(聚丙烯)超滤膜：
PP(聚丙烯)超滤膜是超滤膜的一种。它是超滤技术中先进的一种技术。中空纤维外径:450-460μm，内径:350-360μm，管壁厚50μm，是属热相拉伸膜。截留分子量5-10万。原水在中空纤维外侧或内腔加压流动，分别构成外压式与内压式。超滤是动态过滤过程，被截留物质可随浓缩排除，抗污性中等，可长期连续运行。聚丙稀超滤膜是高分子分离膜之一。
PP(聚丙烯)超滤膜技术是一种广泛用于水的净化，溶液分离、浓缩，以及从废水中提取有用物质，废水净化再利用领域的高新技术。特点是使用过程简单，不需加热，能源节约，低压运行，装置占地面积小。
5、PS(聚砜)超滤膜：
PS(聚砜)超滤膜，具有良好的化学稳定性,耐酸碱性能优良(PH2-13),透水性能较好,强度在有机高分子材料制成的膜中较高,(爆破压力>0.6Mpa)，使用寿命长，正常使用在2年以上。聚砜外压式中空纤维超滤膜(截留分子量6000-20000)，尤其适用于特种行业(如生化、医药、化工等)的浓缩、分离、提纯，截留性能稳定。
6、PVDF(聚偏氟乙烯)超滤膜：
PVDF(聚偏氟乙烯)超滤膜，它是利用自动连续制膜机将聚偏氟乙烯树脂和溶剂、致孔添加剂构成的铸膜液，经相转化法制备而成。
该种滤芯具有良好的耐热性和化学稳定性，能耐受小于138℃的高压蒸汽消毒;能耐受强酸、脂肪族、芳香族以及酮、醚等多种有机、无机溶剂。孔形呈圆形及椭圆形，正反面孔型孔径一致，孔径范围分布窄。该膜有较强的负静电性及疏水性，是一种能够用于液体除菌、除微粒又可应用于气体除湿、除尘、除菌过滤的新型精密过滤介质，是食品工业、医药工业、生物工程下游产品分离用的较理想材料。

『柒』 请问通常用什么方法制作SiO2薄膜AA级

一.蜂窝陶瓷的特点： 环保陶瓷 陶瓷材料由于其高强度、耐高温、耐腐蚀、耐磨等特异性能可广泛应用于各种环保领域，如汽车尾气排放等。 1。用于微过滤、超过滤和纳过滤用的多孔超薄陶瓷和聚合陶瓷薄膜 陶瓷无机膜的发展始于世纪美国科学家首次采用多孔陶瓷膜来分离腐蚀性极强的UF 6 同位素。由于SiO 2 、Al 2 O 3 、MgO、ZrO 2 、TiC、UC等无机硅酸盐材料制备的无机膜具有聚合物有机薄膜无法比拟的优越性，21世纪起，无机陶瓷薄膜的开发和应用研究得到了更进一步的发展，除了传统的核工业、航空航天、食品工业、化工、生物等工业，在环境领域的应用和发展特别引起了世界各国的重视。 德国茵莱精密陶瓷有限公司已研发出具世界领先水平的用于微滤(1?m至30nm)、超滤(30nm至3nm)和纳滤(3nm至0.9nm)用的多孔陶瓷薄膜，并已开发出多种规格和用途的工业实际应用成套分离和过滤装置，如对含放射性物质废水的三级陶瓷膜过滤净化处理装置。这种用于微滤、超滤、纳滤用的多孔陶瓷薄膜是一种进行物质分离和能量传输的中间介质隔膜，薄膜根据实际需要制成所需孔径(微米级、亚微米级和纳米级微孔)，所有薄膜都有界定的阻断过滤值，如超滤（用于对诸如乳胶浊液的清理、消毒灭菌和其它化学物质的纯化）和纳滤(用于固化微生物和细胞的生物陶瓷载体，固化后的生物膜用来生产如蛋白和疫苗这样的生物活性物质)。其中，我司的0.9nm孔径纳滤膜是目前世界已知最小孔径的纳滤陶瓷膜，阻断过滤值小至450g/mol，如果界定的阻断过滤值为<1000g/mol，试验证明可以对SO 4 2 －的阻止高达90%。 多孔陶瓷载体是上述三种陶瓷过滤膜的基础，并决定过滤组件的形状和陶瓷膜面积大小。我司开发的过滤组件在高至450°C的温度和60巴大气压的环境下能完全正常工作，可用各种酸碱液或蒸汽高温冲洗。这些陶瓷载体通过不同生产工艺制造出平板形、毛细管形、单孔道、多孔管道等。平板载体厚度1mm，需要时可用陶瓷粘接技术将多个盘形体层黏在一起。毛细管陶瓷载体的直径可小至1.1mm。多孔管道陶瓷载体的尺寸大小不一(22孔道载体的标准尺寸为宽101mm，厚6mm，孔道直径3mm)。载体的具体形状、尺寸大小取决于陶瓷薄膜面积和分离过滤用途，并与不锈钢套体结合一起使用。 薄膜中间隔有一或数层多孔陶瓷体，用特别的工艺镀膜在粗糙的多孔陶瓷基体上，陶瓷基体可以是多种形状的平面或管道，其制备依据分离要求可用溶胶－凝胶工艺、发泡工艺、有机泡沫浸渍工艺、添加造孔剂工艺等备制。分离膜两边的物质粒子由于尺寸大小、扩散系数或溶解度的差异等，在一定力差、浓度差、电位差或化学位差的驱动下发生传质过程。传质速率的不同会导致选择性透过，进而引起混合物的分离。 我司拥有目前世界上已知的所有纳米陶瓷镀膜工艺技术，包括溶胶镀膜技术。常规的涂层技术如浸涂、喷涂、旋转涂等也可用来制作溶胶薄膜，然后通过烧制或固化将这层溶胶薄膜转化成陶瓷膜。各种镀膜技术适合不同产品用途，含水多的溶胶镀膜技术生成一种所谓的胶态溶液，其离散颗粒受表面荷质比影响非常稳定。溶胶层在400°C－600°C温度烧制，可以生成TiO 2 、ZrO 2 和γ－Al 2 O 3 这样的间隙多孔薄膜，非常适合超过滤用途。通过可控水解生成带自由羟基的齐聚物聚合溶液，这种生成过程可以通过加入一定量的水或加入某种抑制水分解的络合剂来实现，羟基通过缩聚作用在200°C－500°C度时固化，形成陶瓷微孔网状系统。由此可制成适用于纳滤和纳米级气体分离的TiO 2 、ZrO 2 、Al 2 O 3 和SiO 2 无定形微孔陶瓷膜。 我司研制出的纳米过滤薄膜，其孔结构与以粒子间孔结构为特征的微过滤和超过滤薄膜不同，是一种无单个粒子的不定形无组织微孔结构，通过聚合溶胶技术镀膜而成。开发的陶瓷薄膜在制备时是根据要过滤和分离物质的大小的具体需要特制成所需孔径和孔隙数量，故每一薄膜根据用途的不同而都有界定的阻断过滤值，即这种陶瓷薄膜的孔径和孔隙数量可根据用途不同在制备时予以调整。另外，陶瓷薄膜技术是以物理原理为基础的，无需化学品的辅助，没有二次污染，效率高，能耗低，操作简易。化学稳定性非常好，耐腐蚀、耐高温、结构造型稳定、机械强度高，能经受高速粒子粉尘的冲击，可在高压高温和腐蚀环境中应用，有利于提高流通量，并可有效地对陶瓷薄膜进行酸碱、高压反冲和高温蒸汽清洗。采用我司陶瓷膜的液相和气体分离成套工业应用设备已经成功应用在包括核工业、航空航天、食品工业、医药、环保等众多实际工业领域中，包括对放射性废水的净化处理、聚合物薄膜与陶瓷薄膜结合的抑制和排除蛋白的超过滤净化、用于净化处理含重金属和有机物废水的陶瓷薄膜生物反应器、净化处理辊轧乳液的陶瓷薄膜超过滤净化装置、对生产玻璃纤维产生的废水的两级薄膜过滤净化处理装置等等。 陶瓷薄膜在环保中的过滤和分离应用范围非常广。在对纺织或印染厂的有色废水经陶瓷薄膜净化过滤处理时，不仅可清除各种有害化学物质，也可以对溶入水中的化学色剂分子进行分离回收并再次循环实用。薄膜陶瓷也可以通过将可溶金属离子转化成非溶性金属碳酸盐来减少工业废水中的重金属，当薄膜上的金属碳酸盐堆积到一定量时对其进行冲洗然后用另一过滤器回收，经济效益非常明显。 由于纳米孔径级陶瓷薄膜的发展和应用，使采用无机陶瓷薄膜对含低分子有机污染物、重金属离子、表面活性剂废水的处理成为可能。故薄膜陶瓷不仅在净化生活用水、处理工业用水和废水等环境治理方面，同时在冶金、化工、食品、医药、生物技术等领域都有着极好的市场应用前景。茵莱精密陶瓷有限公司的陶瓷溶胶镀膜及各种溶胶和纳米复合薄膜的生产完全是在公司超净厂房内进行的(等级10/100±5%；室温：±1 °C)。不仅研发、生产各种薄膜，同时可为客户研发设计适合客户特定产品的陶瓷薄膜和过滤分离系统集成。 2。陶瓷触媒 我公司开发的陶瓷催化或触媒技术和产品在工业废气和废水净化处理中的应用已越来越广泛。催化体的化学组成及设计因具体实际应用而各不相同，其几何体和形状可以多种多样，如蜂窝瓷、颗粒陶瓷、球形陶瓷、多孔或单孔管道陶瓷等。典型的陶瓷材料有：堇青石、莫来石、块滑石、高铝、碳化硅、氧化钛、氧化锆、电刚玉、沸石、复合陶瓷等。用途从简单的瓦斯焊枪、汽车尾气处理、大型柴油发电机的废气净化到用于工业废气处理、热交换及热储存的大型蜂窝瓷。例如： 分解一氧化二氮(Nitrous oxide)的陶瓷触媒 在硝酸(Nitric－acid)生产中，利用一种特殊的陶瓷触媒体可完全分解一氧化二氮，将其分别分解至相应的元素而不会产生NO X ，主要产品锘(NO)不会受任何影响。 氧化碳氢化合物的陶瓷触媒 用钙钛类氧化材料研制的陶瓷触媒体可以氧化碳氢化合物，其催化性能远胜于贵金属触媒，特别在抗高温、抗腐蚀、抗毒性和低成本经济性方面表现尤为突出。 氧化卤代烃(Halogenated hydrocarbons)的陶瓷触媒 在过渡金属氧化物混合物基础上开发的陶瓷触媒可以分解卤代烃，其活性、选择性和使用寿命要远优于常规催化剂。 汽车尾气处理用陶瓷触媒转化器 为了控制汽车的废气污染，降低一氧化碳、黑烟及其他有毒气体的排放，触媒转化器从70年代末开始被使用在汽车上。在过去数十年中的技术发展中，汽车制造厂使用了许多不同的方式来降低排放污染，例如排气循环、燃料箱油气回收及引擎电子控制系统等，但触媒转化器一直是降低有害废气排放的最有效方法。在触媒转化器的化学反应中，贵金属原子产生各种不同的过渡反应，使整体反应活化能降低，进而提高废气转化成一般无害气体的反应机率，而触媒本身在化学反应后仍然保持原来的状态，这是触媒转化器和传统排烟过滤器的最大差异。触媒转化器不仅有良好的使用寿命，也避免了长期使用后被阻塞的可能性。 大部分的现代触媒转化器包含了两个部分：还原性蜂窝瓷及氧化性蜂窝瓷。当废气通过还原性蜂窝瓷时，氮氧化物首先被分解为氮气和氧气。当废气进一步通过氧化性蜂窝瓷时，一氧化碳和碳氢化合物被进一步氧化成二氧化碳及水。此时前一阶段产生的氧气亦有助于此类氧化反应的进行，特别是高压缩比的发动机，由于排放的氮氧化物浓度较高，在还原反应中产生的氧气浓度亦明显提高。 二.蜂窝陶瓷生产工艺： 汽车尾气处理用的蜂窝陶瓷材料常为多孔堇青石，其每平方英寸400孔道的几何外形，以及材料中 2－3mm 的多孔结构，产生了0.2－0.3m 2 /g的高比表面积。用同步电子辐射测量方法(EXAFS：extended X－ray absorption fine structure)可精确地测定贵金属铂元素在蜂窝陶瓷载体表面上的原子排列方式，显示了铂原子在堇青石陶瓷载体表面形成所谓的海棉状结晶，使得触媒转化器内的气体接触面积平均在2000M 2 以上，同时也使气体分子在触媒转化器中有足够高的机率与贵金属原子碰撞产生有效的触媒转化反应。除研发不同型号的全陶瓷载体外，茵莱赛米克高新陶瓷有限公司拥有生产复合、合金化以及陶瓷涂层的触媒蜂窝瓷技术和生产工艺。

『捌』 碳化硅陶瓷，氧化铝陶瓷的强度怎么样强是否易碎

碳化硅陶瓷不仅具有优良的常温力学性能，如高的抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高的抗磨损以及低的摩擦系数，而且高温力学性能(强度、抗蠕变性等)是已知陶瓷材料中最佳的。热压烧结、无压烧结、热等静压烧结的材料，其高温强度可一直维持到1600℃，是陶瓷材料中高温强度最好的材料。抗氧化性也是所有非氧化物陶瓷中最好的。别名金刚砂。
氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料，用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。需要注意的是需用超声波进行洗涤。其耐磨性相当于锰钢的266倍，高铬铸铁的171.5倍。

『玖』 碳化硅的主要用途有哪些

导语：碳化硅陶瓷是一种具有着非常不错的常温力学性能的材料，它在使用的过程中能够很好的适应外界的环境，而且具有着很不错的抗氧化的能力以及抗腐蚀的能力，所以它被广泛的运用在了很多的领域，而且受到了业内的一致好评，而且随着技术的不断改进，碳化硅陶瓷的质量和适应性也处于一种不断上升的状态，这也进一步的促进了碳化硅陶瓷的使用性能的进一步提高。

碳化硅陶瓷的用途的介绍

密封环：因为碳化硅这种材料制成的碳化硅陶瓷具有着很不错的强度、硬度以及抗摩擦的能力，而且在使用的过程中碳化硅陶瓷能够很好的抵制一些化学物质的影响，这也是其它物质做不到的，所以它被运用于制造密封环。在加工的时候它能够和石墨进行一定比例的配置，然后在输送强碱以及强酸的时候能够发挥很大的作用，这也是体现了它制造密封环的良好性能。

研磨介质：因为碳化硅陶瓷的强度是很不错的，所以这种材料被运用于耐磨机械的零件当中，而且我们可以发现的是它被运用在振动球磨机和搅动球磨机的研磨介质中，并且具有着很不错的使用功能性能。

防弹板：因为碳化硅陶瓷的弹道性能是比较好的，而且价格也比较的便宜，所以它被广泛的运用于防弹装甲车的制造当中。有的时候它也被运用于制造保险柜，舰船的防护以及运钞车的防护当中，而且它很好的体现出了碳化硅陶瓷的优良性能，同时很好的满足了人们的日常生活和工作的需要。

喷嘴：我们现在使用到的喷嘴大多数是由氧化铝以及碳化铝等材料制成的，但是也有由碳化硅陶瓷制成的喷嘴，这种喷嘴的价格要比其它材料制成的喷嘴更加的便宜，但是它使用的环境受到了一定的限制，目前在有冲击力以及振动的喷砂的环境中使用的是比较多的，但是总体来看的话使用性能还是很不错的。

结语：从整体来看的话碳化硅陶瓷是很不错的，优秀的性能再加上低廉的价格，使得它要比同类型的材料更加的具有市场优势。同时这种材料目前的使用性还是很强的，可以看到的是它使用的领域也越来越多，适应的环境也越来越广。

『拾』 SiC陶瓷表面可以磁控溅射镀膜吗,附着力如何，能达到室温120MPa的剪切强度吗

磁控溅射技术的应用有，主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜（镀铝、铬、锡、不锈钢等金属）、七彩膜仿金膜等，从而获得光亮、美观、价廉的塑料，陶瓷表面金属化制品。
广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟等领域，JTPZ多功能镀膜技术及设备（加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机），针对汽车、摩托车灯具而设计的，在一个真空室内完成蒸发镀铝和射频等离子体镀保护膜，这种镀膜后灯具具有“三防”功能。
射频等离子体聚合膜还应用于光学产品、磁记录介质、军事国防保护膜；
防潮增透膜；
防锈抗腐蚀；
耐磨增硬膜。
用户选择在灯具基体上喷底漆、镀铝膜、镀保护膜或灯具基体在真空室进行前处理（不喷底漆）、镀铝膜、镀保护膜工艺。
在ABS,PC,PBT,PE,PP,PA66等塑料基体上直接镀膜，不需喷底漆，也不需喷面漆（不需要投资喷涂设备），在镀完铝膜后直接镀一层保护膜。
滴1%NaOH溶液10分钟铝层不腐蚀，去离子水中浸饱96小时铝层不脱落。
磁控溅射镀膜设备及技术介绍a旋转磁控溅射镀膜机；
旋转磁控溅射镀膜技术，是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术，靶材利用率达到70～80%以上，基体镀膜均匀，色泽一致。
b平面磁控溅射镀膜机；
c中频磁控溅射镀膜机；