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蓝宝石衬底废水

发布时间:2021-03-07 07:13:35

Ⅰ 什么是LED 蓝宝石衬底材料

通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题,例如晶格失配和热应力失配,这会在外延层中产生大量缺陷,同时给后续的器件加工工艺造成困难。蓝宝石是一种绝缘体,常温下的电阻率大于1011Ω·cm,在这种情况下无法制作垂直结构的器件;通常只在外延层上表面制作n型和p型电极。在上表面制作两个电极,造成了有效发光面积减少,同时增加了器件制造中的光刻和刻蚀工艺过程,结果使材料利用率降低、成本增加。由于P型GaN掺杂困难,当前普遍采用在p型GaN上制备金属透明电极的方法,使电流扩散,以达到均匀发光的目的。但是金属透明电极一般要吸收约30%~40%的光,同时GaN基材料的化学性能稳定、机械强度较高,不容易对其进行刻蚀,因此在刻蚀过程中需要较好的设备,这将会增加生产成本。
蓝宝石的硬度非常高,在自然材料中其硬度仅次于金刚石,但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割(从400μm减到100μm左右)。添置完成减薄和切割工艺的设备又要增加一笔较大的投资。
蓝宝石的导热性能不是很好(在100℃约为25W/(m·K))。因此在使用LED器件时,会传导出大量的热量;特别是对面积较大的大功率器件,导热性能是一个非常重要的考虑因素。为了克服以上困难,很多人试图将GaN光电器件直接生长在硅衬底上,从而改善导热和导电性能。
对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底:
·蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)

Ⅱ 什么叫蓝宝石衬底材料

蓝宝石衬底材料是一种用于LED芯片衬底的材料,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

相关介绍:

传统的LED芯片采用正装结构,上面通常涂敷一层环氧树脂,下面以蓝宝石作为衬底。一方面,由于蓝宝石的导热性较差,有源层产生的热量不能及时地释放,而且蓝宝石衬底会吸收有源区的光线,即使增加金属反射层也无法完全解决吸收的问题。

(2)蓝宝石衬底废水扩展阅读

2001年,LumiLeds研制出了AIGalnN功率型倒装芯片结构,LED芯片通过凸点倒装连接到硅基上。这样大功率LED产生的热量不必经由芯片的蓝宝石衬底,而是直接传到热导率更高的硅或陶瓷衬底,再传到金属底座,由于其有源发热区更接近于散热体,可降低内部热沉热阻。

由SemiLedS研发的以蓝宝石为衬底的垂直结构GaN基LED芯片从2005年11月开始进入市场。制造垂直结构LED芯片有两种基本方法,剥离生长衬底和不剥离生长衬底。

对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择。三种衬底材料:蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)。

Ⅲ 蓝宝石衬底可以生长几次外延,然后衬底会怎样

一般现在抄的2寸蓝宝石衬底长一次外延吧,在大尺寸的衬底如4寸6寸的有多次重复利用的,具体要看其使用的是何种衬底,单面抛光还是双面抛光,还有其衬底剥离技术。
使用完后的衬底有会被剥离掉,有的不会,要看其对产品良率亮度等的要求,现在的剥离技术还没有很好,所以多是不剥离。
希望会有用。

Ⅳ LED中的蓝宝石衬底起什么作用

LED蓝宝石衬底有许多优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。

蓝宝石的硬度非常高,在自然材料中其硬度仅次于金刚石,但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割,其切割精度均以μm级计算,这对于蓝宝石衬底切割的工艺要求提出了非常高的考验。

由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性。因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上。

它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045°C) 等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关。

(4)蓝宝石衬底废水扩展阅读

蓝宝石基板应用种类:广大外延片厂家使用的蓝宝石基片分为三种:

1、C-P1ane蓝宝石基板:这是广大厂家普遍使用的供GaN生长的蓝宝石基板面。这主要是因为蓝宝石晶体沿C轴生长的工艺成熟、成本相对较低、物化性能稳定,在C面进行磊晶的技术成熟稳定。

2、R-P1ane或M- Plane蓝宝石基板:主要用来生长非极性/半极性面GaN外延薄膜,以提高发光效率。通常在蓝宝石基板上制备的GaN外延膜是沿c轴生长的,而c轴是GaN的极性轴。

导致GaN基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场,发光效率会因此降低,发展非极性面GaN外延,克服这一-物理现象,使发光效率提高。

3、图案化蓝宝石基板(Pattern Sapphire Substrate 简称PSS):以成长(Growth)或蚀刻(Etching)的方式,在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制LED之输出光形式。

并可同时减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷,改善磊晶质量,并提升LED内部量子效率、增加光萃取效率。

Ⅳ 蓝宝石衬底进退火前没有污染。退火后出现污染。是什么原因造成的

你是一个s/b啊 都30岁了 还玩小孩子的游戏 难道玩玩游戏就能年轻10岁吗? 你个贱/货

Ⅵ 蓝宝石衬底 如何去污

你说的是什么类得来污渍?去污一般自都是靠清洗的,你的衬底片子是切磨抛之后的清洗还是PSS或者MOCVD上机前得清洗?一般来说是片子走清洗线,清洗剂的选择跟配比很重要,超声之类的都要有,还有就是你清洗工艺的安排。

Ⅶ LED蓝宝石晶片就是指蓝宝石衬底的意思嘛

一般是这样指的,如果不是特别指是图形化蓝宝石衬底(其实就是蓝宝石衬底深加工的一种)

Ⅷ 请问国外生产蓝宝石衬底的有哪几家能进行具体分析吗

比较著名的rubicon,mono两大家,四联在美国的霍尼韦尔,韩国iljin,astek,stc等等等等,台湾的很多了。

Ⅸ 请问“蓝宝石衬底”的用途是什么,主要运用在哪些领域

航天和航宇宙方面的电子器件的衬底,高度可靠器件的衬底。

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