Ⅰ 怎樣保持電子晶圓超純水系統能夠正常運行呢
1、超純水系統的機械過濾器定期反洗.反洗時進行壓縮空氣氣體摩擦,反洗合格後靜置10min左右再正洗,正洗出水合格後方可投入使用,勿將空氣帶入反滲透.在不影響sdi值的情況下,盡可能延長機械過濾器的運行時間,這樣既減少了切換過濾器對出水水質的沖擊,又節約了大量反洗用水。
2、定期檢查、及時更換精密過濾器濾芯,防止濾芯因安裝或質量問題發生泄露所引起的反滲透膜的顆粒污染.當精密過濾器進口壓差大於0.15mpa時,應更換濾芯.一般應每月檢查一次,2～3個月更換一次濾芯.運行時還應經常檢查精密過濾器內是否有氣體,不能讓空氣帶入反滲透膜.對備用或長期停運的精密過濾器,要採取加甲醛保護的方法防止細菌大量繁殖。
3.、壓泵入口壓力應至少大於0.05mpa,防止空氣或精密過濾器前截留物被高壓泵抽入反滲透膜。
4、停用的超純水系統應定期低壓沖洗,尤其夏天,應做到每班沖洗一次.如停運時間大於7天,應採用0.5%～1%的亞硫酸氫鈉或0.5%～1%的甲醛溶液對反滲透膜進行保護.並應及時檢測保護液的ph值和濃度。
5、定期對給水水質進行化驗分析,根據實際情況及時調整絮凝劑、殺菌劑、還原劑及阻垢劑的加葯量.防止絮凝劑穿透過濾器與阻垢劑反應影響阻垢效果,或污染反滲透膜;防止殺菌劑用量不足而使反滲透膜受細菌污染,或因殺菌劑過量而使膜被氧化;防止阻垢劑含量不足使濃水結垢而導致膜化學污染。
6、當與初始投用狀態相比,標准化的反滲透裝置產水量下降10%,或在特定條件下產水含鹽量明顯上升,或壓差增加了15%時,應對反滲透膜進行及時清洗。