半导体超纯水指标颗粒物

㈠ 超纯水设备的设备参数,产水要达到什么指标

净得瑞为您解答：抄
产水袭水质： 电阻率：18.2 MΩ•cm 总有机碳（TOC） ≤ 10 ppb （紫外型 ≤ 5 ppb） 颗粒（>0.22µm）< 1 /mL 纯水电导率：0.1uS/cm-20uS/c

㈡ 纯水和超纯净水的标准各是什么

纯水和超抄纯水一般都没有统一袭的标准。是根据用户的需求来规定。
一般意义上讲纯水至少应该是去离子水，即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。细菌、悬浮物等的含量也应是相当低的。
目前水质要求最高的超纯水是半导体行业，根据半导体芯片的大小和线径的不同水质要求也不一样，其超纯水的水质指标如下：
电阻率大于18.2兆欧（25摄氏度）；TOC（总有机碳）小于1到10ppb，DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（颗粒）：0.05微米小于200个/升；离子含量大部分是小于20到50ppt；细菌检测：无。

㈢ 谈谈超纯水设备的优点及性能指标有哪些

超纯水设备性来能指标及特点介绍源

(1) 脱盐率大于99.9%，效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
(2) 较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上
(3) 离子交换树脂不需使用酸碱再生，节约大量酸碱和清洗用水，降低劳动 强度。
(4) 清洁生产，无废水处理问题，利于环保。
(5)电子级超纯水设备 自动化程度高，易维护，可设计成完善的膜技术高纯水生产线。
(6) 产水电阻率15-18MΩ·cm，pH 6.5-7.0，硅<1.0ppb，彻底无菌。
(7) 电子级超纯水设备占地面积小，单一系统连续运转，不需建设备用系统。

㈣ 半导体超纯水设备的价格为何会有很大的差别

当前国内半导体行业应用的超纯水设备一般有前端预处理及RO、回EDI提纯等工序。

1.根据超纯水设答备的材质不同，选用的RO膜的品牌不同以及EDI模块的吨位及品牌区别，价格上也有很大的差距。

2.其中价格中膜元件及设备材质因素会极大地影响整体设备的价格。

3.具体的加工工艺以及厂家报价也会对价格有所影响。

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㈤ 纯水（超纯水）和（二次）蒸馏水有什么区别吗

一、概念不同

1、纯水

纯水是具有一定结构的液体，虽然它没有刚性，但它比气态水分子的排列有规则得多。在液态水中，水的分子并不是以单个分子形式存在，而是有若干个分子以氢键缔合形成水分子簇，因此水分子的取向和运动都将受到周围其他水分子的明显影响。

对于水的结构还没有肯定的结构模型，目前被大多数接受的主要有3 种: 混合型、填隙式和连续结构(或均匀结构)模型。

2、蒸馏水

蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。

二、应用不同

1、纯水

其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。

在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)。

但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。

2、蒸馏水

有时候为了特殊目的，在蒸前会加入适当试剂，如为了无氨水，会在水中加酸；低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水，一般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高。

三、制作方法不同

1、纯水

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。

在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

2、蒸馏水

自然界中的水都不纯净，通常含有钙、镁、铁等多种盐，还含有机物、微生物、溶解的气体（如二氧化碳）和悬浮物等。用蒸馏方法可以除去其中的不挥发组成。用蒸馏法，并配合以下一些措施，可以获取质量较高的蒸馏水。

①排去初始馏分（约占原水的20%），因为挥发组分主要集中在初始馏分中。

②排去残留部分（约占原水的20%），因为很多不挥发组分集中在残留水中。

③添加某些物质以利于蒸馏。例如，添加NaOH，使水中的CO2变成难挥发组分，添加KMnO4可氧化水中的有机物。

㈥ 去离子水，超纯水，纯水三者有什么区别

蒸馏水、去离子水、高纯水、超纯水各有什么区别 ：

天然水中通常含有五种杂质:

• 电解质,包括带电粒子,常见的阳离子有H+、Na+、K+、NH4+、、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等；阴离子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等.

2.有机物质,如:有机酸、农药、烃类、醇类和酯类等.

3.颗粒物.

4.微生物.

5.溶解气体,包括：N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等.

所谓水的纯化,就是要去掉这些杂质.杂质去的越彻底,水质也就越纯净

1.蒸馏水：就是将水蒸馏、冷凝的水,

2.去离子水就是将水通过阳离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树脂）,则水中的阳离子被树脂所吸收,树脂上的阳离子H+被置换到水中,并和水中的阳离子组成相应的无机酸；

3.高纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,

4.、超纯水,水的电阻率大于18MΩ*cm（没有明显界线）,则称为超纯水.关键是看你用水的纯度及各项征性指标,如电导率或电阻率,PH值,钠,重金属,二氧化硅,溶解有机物,微粒子,以及微生物指标等.

㈦ 超纯水比蒸馏水还纯吗

超纯水（UPW）是半导体、液晶、芯片及光伏产业生产的重要间接材料之一，所谓的版超纯水即接近权纯态的水，其电阻率一般以18MΩ·cm界定，极限值为18.3MΩ·cm，通俗的理解为超纯水不导电；
除了电阻率在18MΩ·cm以上这个条件外，超纯水还有细菌、硅（以二氧化硅计）、颗粒、TOC、DO等指标，现暂无UPW的GB，一般根据各公司的用水标准而定，半导体行业要求较高、光伏行业较低；
蒸馏水，常说的蒸馏水指一次蒸馏水，定义不足3级水，电阻率低于0.1MΩ·cm，可用于一般行业如医学、食品及实验室用水，其杂志含量较高，可参考网络中的定义。
此外，介于超纯水和蒸馏水之间的还有去离子水（DIW）及二（多）次蒸馏水等。如有疑问可与我进一步探讨。

㈧ 请教大神，工厂用的DI水指标“粒度分布＜0.02pm”是什么意思怎么理解

我们来讨论下，看是不是这个方向。PM多用在环境监测上，比如pm2.5=小于2.5微米颗粒，它的英文意思particulate matter就是颗粒物。同理超纯水里指标“粒度分布＜0.02pm”可以理解为DI水中颗粒物粒径小于0.02微米。
粒度分布一般是累计/微分分布曲线及相关数据表，这里很明显不适用，应该代表的是粒径/粒度的意思。
欢迎讨论，共同学习，润之Rise为您解答

㈨ 超纯水的PH值及Cao、Mgo化验指标

我国电子工业部高纯水水质试行标准
化学指标单位：μg/L
序号 水质项目 一级高版纯水指标 二级权高纯水指标
1 电阻率（25℃）MΩ·cm ≥15 ≥10
2 电导率，μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8～7.2 6.6～7.4
4 细菌总数，个/mL ＜3 ＜9
5 微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） ＜150 ＜300
6 二氧化硅 ＜10 ＜20
7 有机物（以COD计） ＜0.3 ＜0.5
8 钠 Na ＜0.5 ＜2
9 铁 Fe ＜1 ＜2
10 铜 Cu ＜0.5 ＜1
11 钙 Ca ＜1 ＜3
12 镁 Mg ＜0.2 ＜1
13 锌 Zn ＜0.5 ＜1
14 锰 Mn ＜0.2 ＜0.5

还是从预处理上找原因，钙镁超标说明前面的软化做的不到位。
PH说明二级反渗透之前的加碱调节不当，要么多了，要么少了。
EDI高纯水模块的PH是动态平衡的，进出水PH是基本相等的。

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