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ito溅镀后清洗废水含铟

发布时间:2022-06-10 12:27:14

⑴ 本工艺有三股水,清洗废水+蚀刻后清洗废水+脱膜显影废水,由于cod悬浮含量高,含有少量金属离子,水

你什么目的?你想把这些废水怎么样,想回收还是想再利用?

⑵ ITO玻璃怎么清洗啊!

ITO玻璃清洗:
没有涂层的一面可以按常规玻璃清洗;
有涂层的一面,采用的是先湿法(乙醇。丙酮)超声清洗过,红外烘干,然后采用干法清洗(紫外臭氧光清洗)以提高ITO表面的功函数。

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的导电性和透明性,可以切断对人体有害的电子辐射,紫外线及远红外线。因此,喷涂在玻璃,塑料及电子显示屏上后,在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外线。

⑶ ito薄膜的应用

ITO(In203:SN02=9:1)的微观结构,In,O,里掺人sn后,sn元素可以代替In,O,晶格中的In元素而以SnO,的形式存在,因为In20,中的In元素是三价,形成SnO,时将贡献~个电子到导带上,同时在一定的缺氧状态下产生氧空穴,形成1020至1021cm。3的载流子浓度和10至30cm2/vs的迁移率。这个机理提供了在lO叫n.cp!l数量级的低薄膜电阻率,所以ITO薄膜具有半导体的导电性能。

ITO的结晶结构

ITO是一种宽能带薄膜材料,其带隙为3.5-4.3ev。紫外光区产生禁带的励起吸收阈值为3.75ev,相当于330nm的波长,因此紫外光区ITO薄膜的光穿透率极低。同时近红外区由于载流子的等离子体振动现象而产生反射,所以近红外区ITO薄膜的光透过率也是很低的,但可见光区ITO薄膜的透过率非常好,由图2可知。由以上分析可以看出,由于材料本身特定的物理化学性能,ITO薄膜具有良好的导电性和可见光区较高的光透过率。

ITO薄膜透过率曲线

2ITO薄膜的生产工艺
磁控溅镀法(Magnetron sputtering)为目前在许多制程中和积体电路制程技术相容性较高的技术,具有可连续生产高品质薄膜的特性,低制程温度且适用在大面积的各种基板上,因此磁控溅镀法是目前使用最普遍用?沉积ITO薄膜的技术。

脉冲雷射镀法(Pulsed laser deposition)固定脉冲频率、能量约为40-300 mJ的准分子雷射,将?射脉冲轰击在ITO靶材上,并加上垂直方向的磁场。此种制程下之成膜速率低,非常耗时。

电弧放电离子镀(Arc discharge ion plating)电弧离子镀乃是运用电弧放电电浆,将原料进行蒸发与离子化,藉由基材通以负偏压吸引离子加速撞击并还原沉积於基材表面形成镀膜的工作方式。在沉积过程中会有微粒产生,导致薄膜变粗糙影响镀膜的品质。

反应性蒸镀(Reactive evaporation)藉着对被蒸镀物体加热,利用被蒸镀物在接近熔点时的高温所具备的饱和蒸气压,来进行薄膜沉积。在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和镭射加热等方法,使薄膜材料蒸镀成为原子或分子,它们随即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成一层薄膜。

离子束溅镀法(Ion beam sputtering)离子束助镀法(Ion beam assisted deposition)

3ITO薄膜的应用
ITO薄膜问世五十多年以来,在太阳能电池、平板显示、防霜玻璃、气敏器件、节能建筑窗和航空航天领域得到了广泛的应用.同时,近年来氧化铟锡透明导电薄膜作为透明电极,被广泛应用于电化学活性物质的电化学沉积制备及其光电性质研究的领域.

⑷ ITO清洗原则

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。

在溅镀ITO层时,不同的靶材与玻璃间,在不同的温度和运动方式下,所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些,更容易出现“麻点”现象;有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带,ITO层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。
ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。
ITO导电玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。

影响ITO玻璃性能的主要参数:

长度、宽度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翘曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)
微观波纹度

倒边
C倒边(0.05mm≤宽度≤0.40mm)
R倒边(0.20mm≤宽度≤1.00mm,曲率半径≤50mm)
倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)
SIO2阻挡层厚度(350埃±50埃,550nm透过率≥90%)
ITO层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3):见表1-1。
表1-1

化学稳定性:

耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的清洗液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
热稳定性:在3000C的空气中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%。

外观质量:

裂纹:不允许。
粘附物:包括尘粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的粘附物;STN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。
沾污:不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。
崩边:长X宽≤2.0mmx1.0mm;深度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度≤总边长的5%。
划痕:见表1-2。
表1-2

玻璃体点状缺陷:包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表1-3。
表1-3

膜层点状缺陷:SIO2阻挡层和ITO导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等,点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表1-5。
表1-5

尺寸:A、测试方法:用直尺和游标卡尺测量待测玻璃原片的长度、宽度、厚度。
B、判定标准:测量结果在供货商所提供的参数范围之内为合格。
面电阻: A、测试方法:把待测试玻璃整个区域做为测试区域,然后测试区域分成九等份后再用四探针测试仪分别测试各区域的面电阻。
B、判定标准:根据测试结果计算出电阻平均值及电阻资料分散值,结果在要求范围内既是合格。
ITO层温度性能A、测试方法:把待测玻璃原片在3000C的空气中,加热30分钟,测试其加温前后的同一点面电阻阻值。
B、判定标准:ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%为合格。
蚀刻性能:A、测试方法:把待测玻璃原片放入生产线所用的蚀刻液中测试其蚀刻完全的时间。
B、判定标准:蚀刻完全的时间值小于生产工艺所设定时间的一半值为合格。
或按表1-1蚀刻性能指标检测。

ITO层耐碱性能

A、测试方法:把待测玻璃原片放在600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,测试其浸泡前后的同一点面电阻阻值。
B、判定标准:ITO层方块电阻变化值不超过10%为合格。
光电性能与可靠性:
A、测试方法:把待测玻璃与现生产用玻璃按现生产工艺参数,选择一型号制作成成品并测试其光电与可靠性性能;
B、判定标准:光电性能与可靠性测试结果与现生产用玻璃结果相当,并在测试产品型号要求范围之内。

ITO导电玻璃的选用规则:

模数在240以上的产品,一般可选用供货商B级品玻璃;
模数在40模以上,240模以下的产品,一般选用普通A级品玻璃;
模数在40模以下的产品,STN产品,一般选用低电阻抛光玻璃。
COG产品,一般选用15欧姆抛光玻璃。

任何时候都不容许叠放;
除规定外,一般要求竖向放置;平放操作时,尽量保持ITO面朝下;厚度在0.55mm以下的玻璃只能竖向放置;
取放时只能接触四边,不能接触导电玻璃ITO表面;
轻拿轻放,不能与其它治具和机器碰撞;
如果要长时间存放,一定要注意防潮,以免影响玻璃的电阻和透过率;
对于大面积和长条形玻璃,在设计排版时要考虑玻璃基片的浮法方向。
ITO导电玻璃的贮存方法:
ITO导电玻璃应贮存在室温条件下,湿度在65%以下干燥保存;贮放时玻璃保持竖向放置,玻璃间堆放不可超过二层,木箱装ITO导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱装货ITO导电玻璃货物,原则上不能堆放。
ITO导电玻璃搬运方法:
易碎品,小心轻放,保持搬运过程中的稳定性,搬运时层高不得超过三层

⑸ ITO蚀刻是什么意思

简单来讲:ITO是一种导电玻璃,有上面有一层溅镀层,主要成份是氧化铟锡。透明的,然后通过蚀刻将导电的线路蚀刻出来。

⑹ ITO膜在LED中的作用

ITO膜在LED中的作用是增加了光透过率:

ITO的微观结构。在SnO2中加入Sn后,Sn元素可以在铟镓晶格中取代,以SnO2的形式存在。由于In2O3中的in元素是三价的,当形成SnO2时,电子将贡献给导带。

同时,在一定的缺氧条件下产生氧空穴,形成载流子浓度为1020~1021CM-3,迁移率为10~30cm/vs.该机制提供了10-4Ω量级的低膜电阻率。

所以ITO薄膜具有半导体的导电性。Ito是一种宽能带薄膜,其禁带宽度为3.5-4.3ev。激发吸收阈值为3.75ev,相当于330nm波长。

因此,ITO薄膜的透射率很低。同时,由于载流子等离子体振动在近红外区域的反射,ITO薄膜在近红外区域的透光率也很低。

但ITO薄膜在可见光区域的透射率很好。由于材料本身特殊的物理和化学性质,ITO薄膜具有良好的导电性和可见光透过率。

(6)ito溅镀后清洗废水含铟扩展阅读:

在国内,ITO薄膜设备的制造和发展是20世纪80年代开始的,主要是一些单体式的真空镀膜设备,由于ITO工艺和制成方法的限制,因此产品品质较差、产量较小,当时的产品主要用作普通的透明电极和太阳能电池等方面。

20世纪90年代初,随着LCD器件的飞速发展,对ITO薄膜产品的需求量也是急剧的增加,国内部分厂家纷纷开始从国外引进一系列整厂ITO镀膜生产线。

但由于进口设备的价格昂贵,技术服务不方便等因素,使许多厂商还是望而却步。80年代末,中国诞生了第一条TN-LCD用ITO连续镀膜生产线。

该生产线采用的工艺路线是将铟锡合金材料利用直流磁控溅射的原理沉积到基片的表面,并进行高温氧化处理,将铟锡合金薄膜转换成所需的ITO薄膜。

这种生产线的特点是设备的产能较低,质量较差,工艺调节复杂。90年代中期,随着国内LCD产业的发展,对ITO产品的需求量增大的同时,对产品的质量有了新的要求。

因此出现了第二代ITO镀膜生产线。该生产线不仅产量比第一代生产线有了大幅度的提升,同时由于直接采用ITO陶瓷靶材沉积ITO薄膜。

并兼容了射频磁控溅射沉积SiO2薄膜的工艺,使该生产线无论从产品的质量上、还是工艺可控性等方面与第一代生产线相比均有了质的飞跃。

⑺ 请问ITO&BPO是什么意思

ITO是导电玻璃

BPO是过氧化二苯甲酰

1、ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

2、过氧化二苯甲酰又名过氧化苯甲酰,俗名引发剂BPO。常温下过氧化苯甲酰为白色晶体粉末,微有苦杏仁气味,能溶于苯、氯仿、乙醚。微溶于乙醇及水。用作聚氯乙烯、不饱和聚酯类、聚丙烯酸酯等的单体聚合引发剂,也可作聚乙烯的交联剂,还可作橡胶硫化剂。过氧化二苯甲酰是一种强氧化剂,易燃烧。性质极不稳定,摩擦、撞击、遇明光、高温、硫及还原剂等,均有引起着火爆炸的危险,加入硫酸时也能引发生燃烧。

(7)ito溅镀后清洗废水含铟扩展阅读:

ITO导电玻璃的特性

ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。

⑻ 铟是什么东西

中国稀有金属网:铟是银白色并略带淡蓝色的金属 ,熔点156.61℃,沸点2080℃,密度7.3克/厘米3(20℃)。很软,能用指甲刻痕,比铅的硬度还低。铟的可塑性强,有延展性,可压成极薄的金属片。

⑼ 镀铟废水怎么处理

您好,可以用萃淋树脂进行处理!!!

⑽ ITO是什么

ITO有多重含义。

1、ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。

高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。

2、ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指标:电阻率和透光率。作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的导电性和透明性,可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。因此,铟锡氧化物通常喷涂在玻璃、塑料及电子显示屏上,用作透明导电薄膜,同时减少对人体有害的电子辐射及紫外、红外。

3、ITO= International Trade Organization国际贸易是世界各国(或地区)之间按一般商业条件所进行的有形商品(实物商品)和无形商品(劳务、技术)的交换活动。国际贸易组织就是实现上述功能的国际组织的总称。国际贸易组织是一个宽泛的概念,而不是某一个组织,与WTO(世界贸易组织)是两个不同的概念。

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