半導體超純水工藝流程

1. 電子工業制備超純水的工藝是什麼

採用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工回藝流程為：答原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床）（復床）→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。採用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配製備電子工業超純水的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。

2. 超純水生產需要哪些設備

1、採用離子交抄換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點2、採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點3、採用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配製備電子工業超純水的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點
。
從以上工藝就能看出你需要哪些設備啦

3. 在半導體生產中,超純水都會被應用在哪裡

• 超純水的應用領域涵蓋了整個電子行業，還有許多新能源行業也有涉獵，比如我們常說的晶元、半導體、光伏等等。今天我們主要來說一下半導體領域中超純水的應用。在半導體生產中，超純水都會被應用在哪裡?答案是在晶圓沖洗、化學品稀釋、化學機械...

4. 超純水設備的工藝流程

EDI超純水製造典來型工藝流自程為：
1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2、預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC
UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

5. 純水設備與超純水設備採用工藝方面的區別是什麼

超純水離子交換方式

其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

間歇式離子交換

這種操作方式是將離子交換樹脂和待處理的原水混合加以適當攪拌，基本達到交換平衡，使平衡後的水質萍蹤設計需求。此方式通常用於小型生產或實驗需要。

固定床離子交換

是一種最常用的離子交換方式，是將離子交換樹脂置於交換柱內，被處理的原水以一定流速流經樹脂床層，達到交換目的。此方式設備簡單，操作方便，實用於各種規模的生產，但是其樹脂的利用率較低，再生費用較高。

雙級反滲透方式

其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

業用純水設備是用於工業生產用水水的純水製取裝置。工業用純水機可以用於：飲用水、瓶裝水、食品工業用水、半導體工業、精細化工、光學工業用水、電鍍用水、醫葯用水、透析醫療用水、代替各類蒸餾水及超純水供水等。

6. 半導體廠超純水Cl含量如何控制

摘要 純水中，電阻率，微粒子，氣泡(溶解氧，溶解氮)和TOC是非常重要的指標，略微差異，可能導致元器件生產過程的產品質量和合格率的下降，所以超純水的制備技術在半導體工業的發展中是非常重要的一環。近年半導體工業，超純水的部分指標可能更加嚴格於表1中ITRS浸沒式超純水的要求。目前掌握最尖端的超純水製造工藝主要還是國外的企業為主，如日本的栗田工業和美國的英特爾公司等等。

7. 純水的製取工藝有哪些

純水的製取工抄藝：

1.反滲透過濾系統

反滲透是實驗室純水機最常用的過濾方法，它的過濾優點和缺點，我們已經介紹過很多次了，比如在講時就給大家介紹過。優點是在一定程度上有效地去除所有類型的污染物（顆粒，膠體和溶解的無機物），日常維護比較少。而缺點是由於RO膜的緊密孔隙度限制了其流速，因此純水的製取量相比較其他方法來說比較少，而且製取成本較高。

2.紫外線輻射製取純水

優點是有效消毒處理，將有機化合物（185nm和254nm）氧化為<5ppb TOC。

缺點是會降低水質的電阻率，不會去除顆粒，膠體或離子。

3.蒸餾製取純水

蒸餾製取該方法的基礎是在蒸汽相中隨後冷凝而轉移水。該方法的主要缺點是將水轉化為蒸汽所需的電力維護成本非常高。此外，在蒸汽形成過程中與水分子一起，其他溶質可以根據其揮發性進入蒸汽，最終溶解到製取的純水中。

4.去離子交換

優點是能夠有效去除溶解於水中的有害離子，比如重金屬離子，而且製取的超純水電阻率接近18兆歐。缺點是無法去除不溶於水的礦物質，而且純水製取成本較高。因此多與反滲透配合使用。

8. 化工行業用超純水的工藝流程,比較常見的有哪些

工藝流程：自來水→PP過濾器→AC過濾器→保安過濾器→增壓泵→RO反滲透膜→預純化版柱→超純化單元→紫權外→超純水 根據不同實驗要求可加配超濾和終端過濾器
作用:1、PP過濾器：獨特、精密的外松內緊漸進式結構，可有效防止微孔堵塞，凈化水通量高，可濾除源水中細小顆粒、懸浮物、膠體等雜質，防止反滲透膜被污染。過濾器內裝PP濾芯，需定期清洗和更換，保證過濾水質和水量。
2、AC過濾器：此AC過濾器的主要作用是有效去除水中殘余的游離氯和有機機物，除色、除味。由於自來水中含有餘氯，而殘余氯是強氧化劑,會對離子交換樹脂、反滲透膜造成損害,因此必須除去。
該濾料具有無數微孔，比表面積大，這樣與水充分接觸，可以吸附水中的有機物和游離氯，凈化水質,以保證反滲透膜不受氧化劑破壞,避免被有機物污染。
3、保安過濾器：此保安過濾器作用是進一步除去水中有機物、膠體和細菌等雜質，使出水的污染指數降低到5以下，保證反滲透部分的正常運行。

9. 超純水處理操作流程(最高半導體公司)

一般採用膜工藝，超濾膜-二級RO-EDI-拋光混床等設備！出水達18兆！最高標準是晶圓廠！