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半導體超純水指標顆粒物

發布時間:2021-03-30 00:56:44

㈠ 超純水設備的設備參數,產水要達到什麼指標

凈得瑞為您解答:抄
產水襲水質: 電阻率:18.2 MΩ•cm 總有機碳(TOC) ≤ 10 ppb (紫外型 ≤ 5 ppb) 顆粒(>0.22µm)< 1 /mL 純水電導率:0.1uS/cm-20uS/c

㈡ 純水和超純凈水的標准各是什麼

純水和超抄純水一般都沒有統一襲的標准。是根據用戶的需求來規定。
一般意義上講純水至少應該是去離子水,即水中大部分陰陽離子是應該被去除的。細菌、懸浮物等的含量也應是相當低的。
目前水質要求最高的超純水是半導體行業,根據半導體晶元的大小和線徑的不同水質要求也不一樣,其超純水的水質指標如下:
電阻率大於18.2兆歐(25攝氏度);TOC(總有機碳)小於1到10ppb,DO(溶解氧)小於1到10ppb;Particle(顆粒):0.05微米小於200個/升;離子含量大部分是小於20到50ppt;細菌檢測:無。

㈢ 談談超純水設備的優點及性能指標有哪些

超純水設備性來能指標及特點介紹源

(1) 脫鹽率大於99.9%,效率遠遠高於兩級反滲透和單純的離子交換
(2) 較傳統的離子交換法脫鹽節約樹脂95%以上
(3) 離子交換樹脂不需使用酸鹼再生,節約大量酸鹼和清洗用水,降低勞動 強度。
(4) 清潔生產,無廢水處理問題,利於環保。
(5)電子級超純水設備 自動化程度高,易維護,可設計成完善的膜技術高純水生產線。
(6) 產水電阻率15-18MΩ·cm,pH 6.5-7.0,硅<1.0ppb,徹底無菌。
(7) 電子級超純水設備佔地面積小,單一系統連續運轉,不需建設備用系統。

㈣ 半導體超純水設備的價格為何會有很大的差別

當前國內半導體行業應用的超純水設備一般有前端預處理及RO、回EDI提純等工序。

1.根據超純水設答備的材質不同,選用的RO膜的品牌不同以及EDI模塊的噸位及品牌區別,價格上也有很大的差距。

2.其中價格中膜元件及設備材質因素會極大地影響整體設備的價格。

3.具體的加工工藝以及廠家報價也會對價格有所影響。

詳情可見官網:網頁鏈接

㈤ 純水(超純水)和(二次)蒸餾水有什麼區別嗎

一、概念不同

1、純水

純水是具有一定結構的液體,雖然它沒有剛性,但它比氣態水分子的排列有規則得多。在液態水中,水的分子並不是以單個分子形式存在,而是有若干個分子以氫鍵締合形成水分子簇,因此水分子的取向和運動都將受到周圍其他水分子的明顯影響。

對於水的結構還沒有肯定的結構模型,目前被大多數接受的主要有3 種: 混合型、填隙式和連續結構(或均勻結構)模型。

2、蒸餾水

蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水。低耗氧量的水,加入高錳酸鉀與酸工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得。

二、應用不同

1、純水

其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用最普遍的還是電子工業。例如電力系統所用的純水,要求各雜質含量低達到「微克/升」級。

在純水的製作中,水質標准所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)。

但由於微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗得到的適用於某種電路生產的完整的水質標准。

2、蒸餾水

有時候為了特殊目的,在蒸前會加入適當試劑,如為了無氨水,會在水中加酸;低耗氧量的水,加入高錳酸鉀與酸等。工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得的純水,一般普通蒸餾取得的水純度不高,經過多級蒸餾水,出水才可達到很純,成本相對比較高。

三、製作方法不同

1、純水

在高純水的生產過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的細菌,目前國內多採用加葯或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。

在高純水應用的領域中,水的純度直接關繫到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導致低擊穿,產生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

2、蒸餾水

自然界中的水都不純凈,通常含有鈣、鎂、鐵等多種鹽,還含有機物、微生物、溶解的氣體(如二氧化碳)和懸浮物等。用蒸餾方法可以除去其中的不揮發組成。用蒸餾法,並配合以下一些措施,可以獲取質量較高的蒸餾水。

①排去初始餾分(約占原水的20%),因為揮發組分主要集中在初始餾分中。

②排去殘留部分(約占原水的20%),因為很多不揮發組分集中在殘留水中。

③添加某些物質以利於蒸餾。例如,添加NaOH,使水中的CO2變成難揮發組分,添加KMnO4可氧化水中的有機物。

㈥ 去離子水,超純水,純水三者有什麼區別

蒸餾水、去離子水、高純水、超純水各有什麼區別 :

天然水中通常含有五種雜質:

㈦ 超純水比蒸餾水還純嗎

超純水(UPW)是半導體、液晶、晶元及光伏產業生產的重要間接材料之一,所謂的版超純水即接近權純態的水,其電阻率一般以18MΩ·cm界定,極限值為18.3MΩ·cm,通俗的理解為超純水不導電;
除了電阻率在18MΩ·cm以上這個條件外,超純水還有細菌、硅(以二氧化硅計)、顆粒、TOC、DO等指標,現暫無UPW的GB,一般根據各公司的用水標准而定,半導體行業要求較高、光伏行業較低;
蒸餾水,常說的蒸餾水指一次蒸餾水,定義不足3級水,電阻率低於0.1MΩ·cm,可用於一般行業如醫學、食品及實驗室用水,其雜志含量較高,可參考網路中的定義。
此外,介於超純水和蒸餾水之間的還有去離子水(DIW)及二(多)次蒸餾水等。如有疑問可與我進一步探討。

㈧ 請教大神,工廠用的DI水指標「粒度分布<0.02pm」是什麼意思怎麼理解

我們來討論下,看是不是這個方向。PM多用在環境監測上,比如pm2.5=小於2.5微米顆粒,它的英文意思particulate matter就是顆粒物。同理超純水裡指標「粒度分布<0.02pm」可以理解為DI水中顆粒物粒徑小於0.02微米。
粒度分布一般是累計/微分分布曲線及相關數據表,這里很明顯不適用,應該代表的是粒徑/粒度的意思。
歡迎討論,共同學習,潤之Rise為您解答

㈨ 超純水的PH值及Cao、Mgo化驗指標

我國電子工業部高純水水質試行標准
化學指標單位:μg/L
序號 水質項目 一級高版純水指標 二級權高純水指標
1 電阻率(25℃)MΩ·cm ≥15 ≥10
2 電導率,μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8~7.2 6.6~7.4
4 細菌總數,個/mL <3 <9
5 微粒(直徑>0.5μm,粒/mL) <150 <300
6 二氧化硅 <10 <20
7 有機物(以COD計) <0.3 <0.5
8 鈉 Na <0.5 <2
9 鐵 Fe <1 <2
10 銅 Cu <0.5 <1
11 鈣 Ca <1 <3
12 鎂 Mg <0.2 <1
13 鋅 Zn <0.5 <1
14 錳 Mn <0.2 <0.5

還是從預處理上找原因,鈣鎂超標說明前面的軟化做的不到位。
PH說明二級反滲透之前的加鹼調節不當,要麼多了,要麼少了。
EDI高純水模塊的PH是動態平衡的,進出水PH是基本相等的。

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